eds元素分析原理

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本文目錄:

• 1、

• 2、EDS及XRD的性能區(qū)別

• 3、

• 4、

一、

二、EDS及XRD的性能區(qū)別

1、EDS是針對一些元素的含量進(jìn)行測試，XRD是測試晶體結(jié)構(gòu)的。

2、EDS

(Energy

Dispersive

Spectrometer）能譜分析，能譜儀是與掃描電子顯微鏡或透射電鏡相連的設(shè)備。在微米或納米尺度上對掃描電鏡或透射電鏡內(nèi)通過電子碰撞所產(chǎn)生的X射線的能量進(jìn)行測量來確定物質(zhì)化學(xué)成分。分析范圍：4-100號元素定性定量分析。

特點：

（1）能快速、同時對各種試樣的微區(qū)內(nèi)Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，幾分鐘即可完成。

（2）對試樣與探測器的幾何位置要求低：對W.D的要求不是很嚴(yán)格；可以在低倍率下獲得X射線掃描、面分布結(jié)果。

（3）能譜所需探針電流?。簩﹄娮邮丈浜笠讚p傷的試樣，例如生物試樣、快離子導(dǎo)體試樣、玻璃等損傷小。

（4）檢測限一般為0.1%－0.5%，中等原子序數(shù)的無重疊峰主元素的定量相誤差約為2%。

3、XRD，X射線衍射是測定晶體結(jié)構(gòu)的。X射線衍射，通過對材料進(jìn)行X射線衍射，分析其衍射圖譜，分析材料的成分等。

三、

四、

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